BOWMAN Pシリーズ
Pシリーズ 上面照射の膜厚計 汎用性の高いモデル
【特徴】・上面からX線を照射します。 ・本体側面の15mmの隙間(スリット)が板状やフィルム状試料に対応 ・焦点距離が5段階で変更可能。 ・凸凹形状の試料にもレーザー焦点合わせができます ・コリメータを標準で4種類搭載。 ・レーザーで自動焦点合わせができます。 ・パソコンとUSBケーブル1本で接続。ノートPCで操作できます。 ・小さなボディーに大きなインテリアで、最大試料高さ14cmまで対応 ・測定結果はEXCELに出力できます。
【主な用途】 ・電子部品一般 ・車載部品のめっき厚み ・機能性めっきの(多層膜・合金膜)の測定
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【仕様】
測定元素 | Al(原子番号13)~ U(原子番号92) |
X線管球 | ターゲット材 W(タングステン)、 電圧 50kV 、電流 1.0mA |
検出器 | 標準 (シリコンピン)FWHM 190eV オプション(SDD) |
コリメーター | 4個 標準搭載 |
アプリケーション |
最大 5層膜(下地含む)の膜厚と成分測定(25エレメント) 同時測定 FP法と検量線法 、液分析検量線 |
サイズ |
外寸 45x60cm 45cm(高さ) インテリア 31x33.5cm 14cm(高さ) |
XYステージサイズ | 標準 33x38cm オプション大型ステージ 63.5x63.5cm |
ステージストローク | 標準 12.5x15cm オプション大型ステージ 25×25cm/超大型 ステージ 40x30cm |
焦点 | 可変 6.4mm~ 63.5mm 5段階 |
焦点距離可変 フォーカスレーザー追従
凹形状の試料のヘコミ部分を測定する場合、カメラの焦点距離を少し離すことで、X線管や検出器との衝突を避けることができます。 焦点合わせには、赤いレーザーが追従するので、オペレーターによる焦点合わせの差がありません。
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XYプログラマブル測定ができます
ランダム | リニア | グリッド | スキャン |
マッピング機能 | |||
XYプログラムは、ファイルとして保存できます。測定ファイルに紐づけすることもできます。測定頻度の多い試料や多点測定が必要な場合に便利です。また、XYプログムには、その時限りのクイックプログラムもあります。測定する位置に移動してワンクリックで測定位置を登録できます。 |
各種オプション
長大型XYテーブル | 大型XYテーブルとプリント基板 | SDD検出器 | ジョイスティック |
STD | |||
飽和厚み 標準試料 | 単層膜 標準試料 | 合金膜 標準試料 |