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BOWMAN Pシリーズ

Pシリーズ            上面照射の膜厚計 汎用性の高いモデル

 

【特徴】

・上面からX線を照射します。

・本体側面の15mmの隙間(スリット)が板状やフィルム状試料に対応

・焦点距離が5段階で変更可能。

・凸凹形状の試料にもレーザー焦点合わせができます

・コリメータを標準で4種類搭載。

・レーザーで自動焦点合わせができます。

・パソコンとUSBケーブル1本で接続。ノートPCで操作できます。

・小さなボディーに大きなインテリアで、最大試料高さ14cmまで対応

・測定結果はEXCELに出力できます。

  

【主な用途】

・電子部品一般

・車載部品のめっき厚み

・機能性めっきの(多層膜・合金膜)の測定 

 

【仕様】

 測定元素  Al(原子番号13)~ U(原子番号92)
 X線管球  ターゲット材 W(タングステン)、 電圧 50kV 、電流 1.0mA 
 検出器  標準 (シリコンピン)FWHM 190eV       オプション(SDD)
 コリメーター  4個  標準搭載 
 アプリケーション

 最大 5層膜(下地含む)の膜厚と成分測定(25エレメント) 同時測定

 FP法と検量線法 、液分析検量線

 サイズ

 外寸   45x60cm  45cm(高さ)   

 インテリア  31x33.5cm  14cm(高さ)

 XYステージサイズ  標準  33x38cm      オプション大型ステージ 63.5x63.5cm
 ステージストローク  標準 12.5x15cm    オプション大型ステージ 25×25cm/超大型 ステージ 40x30cm
 焦点  可変  6.4mm~ 63.5mm   5段階

 

焦点距離可変 フォーカスレーザー追従

 

 凹形状の試料のヘコミ部分を測定する場合、カメラの焦点距離を少し離すことで、X線管や検出器との衝突を避けることができます。

焦点合わせには、赤いレーザーが追従するので、オペレーターによる焦点合わせの差がありません。

 

 

XYプログラマブル測定ができます

     
ランダム リニア グリッド スキャン
 
マッピング機能
XYプログラムは、ファイルとして保存できます。測定ファイルに紐づけすることもできます。測定頻度の多い試料や多点測定が必要な場合に便利です。また、XYプログムには、その時限りのクイックプログラムもあります。測定する位置に移動してワンクリックで測定位置を登録できます。

 

 

 

各種オプション

     
 長大型XYテーブル  大型XYテーブルとプリント基板  SDD検出器 ジョイスティック
STD
   
飽和厚み 標準試料 単層膜 標準試料 合金膜 標準試料


 


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