小型蛍光X線素材分析・膜厚計 ボーマンGシリーズ
蛍光X線素材分析 BOWMAN社製 Gシリーズ
下面照射の蛍光X線膜厚計
金メッキ等の厚み測定や、貴金属・合金測定にも最適
G-series size
測定できる試料サイズ
G-series sample
自動元素特定と材料分析機能
G-series spectrum
オートフォーカスとレーザーフォーカス
G-series Focus
仕様
| 測定対象元素 | Al(13）～U（92） |
| X線励起 | 50W （50ｋV 1mA） ﾏｲｸﾛﾌｫｰｶｽ Wターゲット |
| 検出器 |
Si半導体 190eV(FWHM) |
| 測定層 | ４層プラス下地 各層最大10元素 トータル最大25元素 |
| フィルタ/コリメーター | 一次フィルタ ４種類 / シングルコリメーター |
| 焦点距離/焦点合わせ | 固定 / ﾚｰｻﾞｰﾌｫｰｶｽ と 自動調整 |
| サンプル画像 | 1/4インチCMOS 1260ｘ720VGA / ４方向LEDサンプル照射 |
| XY手動ステージ | テーブルサイズ 279ｘ254ｍｍ XYトラベル 35ｘ35ｍｍ |
| チャンバー内寸 | 100（H)×325（W)×200（D) ㎜ |
| 外寸/重量 | 340（H)×360（W)×470（D) ㎜ / 25ｋｇ |
| 電源仕様 | 150W 100～240VAC / 47～63Hz |
